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国产光刻机路还有多远

菜鸟
2021-02-23 15:39:14

光刻机研发的技术门槛和资金门槛非常高,也正是因此,能生产高端光刻机的厂商非常少,到最先进的14-7nm光刻机就只剩下ASML能生产,日本佳能和尼康已经基本放弃EUV光刻机的研发。光刻机国产化仍有很长的路要走,处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机,制程上的差距非常大,国内晶圆厂所需的高端光刻机只能完全依赖进口。但在《瓦森纳协定》的封锁下,高端光刻机在中国被禁售,即使中端光刻机也有保留条款——禁止给国内自主CPU做代工,导致自主技术成长困难重重,光刻设备国产化,前路漫漫。


关键词: 光刻机, 国产  

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